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暉盛電漿平台技術 封裝載板重要夥伴
2025/7/4
2025年美中科技戰火延燒,從EDA軟體到關鍵製程設備全面納入出口管制。供應鏈不再是技術與成本的選擇題,而是國家級風險管理的必修課。在這場轉型與重構的浪潮中,暉盛科技作為本土少數深耕電漿製程平台的設備商,正憑藉完整自研系統、模組化架構與奈米級精密控制技術,逐步成為封裝與載板廠強化設備在地化的重要夥伴。從晶圓後段製程、異質封裝、到新材料蝕刻與界面處理,暉盛的設備已橫跨多個製程節點,成為多家領先封裝廠與載板大廠的重要技術夥伴。

在SoIC(三維異質整合)成為下一代晶片架構關鍵技術的今天,「Hybrid Bonding」被視為實現多晶粒垂直堆疊、提升訊號傳遞密度與效能的核心工藝。然而,高密度鍵合不僅需要物理結構設計,更仰賴原子級的表面活化處理(Plasma Activation)來實現牢固鍵合與高良率製程。

暉盛的電漿平台技術正是此關鍵製程的無聲英雄。透過等離子體的精密能量控制,可有效去除晶片間界面有機殘留與氧化層,同時激發原子鍵,提升材料反應活性,使裸晶之間在低溫條件下仍可實現高強度直接鍵合。這使電漿表面處理不再只是配角,而成為影響先進封裝良率與可靠度的核心工序之一。

暉盛的電漿設備平台,高均勻性處理能力、模組化設計與大面積應用支援能力,使其成為少數可快速導入FOPLP製程的大氣電漿設備供應商。從Hybrid Bonding前處理、玻璃與ABF載板的介面蝕刻,到Mini LED與新材料封裝應用,暉盛正穩健擴展其「電漿核心、全流程服務」的技術版圖。   <摘錄經濟>
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