¦ö¶¶µoUV¥ú¾Ç½¤Âù±¶î§G¾÷ °ª¨}²v´x´¤³n°òªO»PIJ±±±ªO»sµ{·sÁÍ¶Õ Àô«Oºñ¯à¡B¤j´T°§C¦¨¥» Àò³Ç¥X¥ú¹q²£«~¼ú
¡@¡@¦ö¶¶µo¾÷±ñ´x´¤³n©Ê°òªO»PIJ±±±ªO²£·~³sµ²·s¤@¥N»sµ{ÁͶաA¬ã»s¥ú¾Ç½¤Âù±¶î§G¾÷¡A°ª¨}²v¡B°ª²£¯à¡B¤j´T°§C¦¨¥»¨Ãݨãºñ¯àÀô«O¡A²Å¦X¥«³õ½Æ¦X«¬¥ú¾Ç½¤¥[¤uÁͶաAÀò²Ä¤@©¡³Ç¥X¥ú¹q²£«~¼ú¡A®i²{¦b¥ú¾Ç½¤¦bR2RÂù±¦¨«¬§Þ³NÂ׺Ӧ¨ªG¡C
¡@¡@¦ö¶¶µo¾÷±ñ¥ú¾Ç¨t¦CUV¶î§G¾÷¡A2009¦~Àò±o¤¤µØ¥Á°ê¥ú¾Ç¤uµ{¾Ç·|©Ò¹{§Þ³N°^Äm¼ú¡A¦P¦~§óºaÀò³Ð·s¬ãµoÁZÀu¼t°Ó¼ú¤Î³Ç¥X¥ú¹q²£«~¼úµ¥¡A¦b¸³¨Æªø§f«TÅï»âx¤U¡AªÃ«ù¡u³d¥ô¡Bºë·Ç¡B³Ð·s¡B°ß¤@¡v¸gÀç²z©À¡A¨Ã°í«ù¡u¤HµL§Ú¦³¡v¤£Â_³Ð·s¡A¥Hªï¦X¬ã»s¨}²v°ª¡B²£¯à°ª¡B¬Ù¯à·½¡B¬Ù¦¨¥»¡B°ª½÷«×¤ÎÂù±¤W½¦¥§¡¨ü¼öªº³]³Æ¯S©Ê»P¥«³õÁͶաC
¡@¡@R2RÂù±¦¨«¬§Þ³N
¡@¡@¥ú¹q³Ð·s§Þ³N
¡@¡@¦ö¶¶µo¥ú¾Ç¨t¦CUV¶î§G¾÷¦b¥xÆW¥«¥e²v°ª¹F80%¡Aªï¦X±ªO¤Q¥N¼t¥«³õ»Ý¨D¡A¶}µo§¹¦¨10¦T¥H¤W¤j¤Ø¤o±ªOUV¥ú¾Ç½¤¦¨§Î³]³Æ¡A§Þ³N»P¥«¥e²v³ôºÙ¥ú¹qI¥ú¼Ò²Õ³]³Æ²£·~ÀsÀY¡A¦b2006¦~§Y¸ó¨¬¥ÍÂå²£·~¡A¦¨¥\¬ãµo¥X¦h¥\¯à©Êªº¶î§G¾÷¥x¡A´£¨Ñ¥ÍÂå²£·~¦h¤¸¤Æ»Ý¨D¡AÀò±o³Ð·s¬ãµoÁZÀu¼t°Ó¡B¤¤¤p¥ø·~³Ð·s¬ã¨s¼ú¡B¼Ú·ùCE»{ÃÒ¡A§f«TÅïÓ¤HÀò¹{2012³Ð·~·¢¼Ò¼ú¡A¥ø·~»P¥ø·~¥D§¡¬°¼Ò½d¥Í¡C
¡@¡@§f«TÅï«ü¥X¡AR2RÂù±¦¨«¬§Þ³N¬°¦]À³¥ú¹q²£«~½Æ¦X¥[¤uÁͶժºÃöÁä³Ð·s§Þ³N¡A¥Dn¬O·L©`¦Ìµ²ºcºu½ü¦b¥i¼¸©Ê°ò§÷¤W¡A¥H³sÄòÄò©ÊºuÀ£½Æ»sªº¤è¦¡¥Í²£¡A¨ã³ÆÂù±·L©`¦Ìµ²ºcªº¥\¯à©Ê½¤¤ù¡A¦pÅã¥Ü¾¹I¥ú¼Ò²Õ½¤¤ù¡B§Ü¤Ï®g½¤¤ù¡B¹p®g¥þ¹³¤ù¡B¨¾¯t½¤¡B»rµø3D½¤¤ù¡B¨¾¿s¤ù¡B¤Ó¶§¯à¾É¥ú¤ùµ¥¦U¦¡Âù±¦¨«¬¥ú¾Ç¤ù»sµ{¡C
¡@¡@§f«TÅï±j½Õ¡A¥H¥Ø«e¥«³õ¦Ó¨¥¡A¥DnÀ³¥Î¦bI¥ú¼Ò²Õªº³Ð·s¨¾¨í¦¡¼W«G½¤¤ù¡]Pitch25£g¡BSurface roughness Ra¤p©óµ¥©ó10nm¡^¦¨§Î»sµ{»PµL¦Ã¬V®Æ¦¡±m¦âÂo¥ú½¤¤ù¡]Pitch4£gm¡BHeight¤p©ó1£gm¡BSurface roughness Ra¤p©óµ¥©ó10nm¡^¦¨§Î»sµ{¡A¨Ï½¤¤ù¨ã¦³¨¾¨í¡B¼W«G»PÂo¥ú¥\¯à¡A¥i¨ó§U·~¬É´£¤É§Þ³N¯à¤O¡A³Ð³y°ªªþ¥[»ùȲ£«~¡A¨ó§U¼t°Ó¶i¦æ¼W«G½¤¶q²£¶}µo»P¾ã¼t§Þ³N³Wµe¡C
¡@¡@éw³sÄò¦¡¥Í²£
¡@¡@À³¥Î²£·~¼sªx
¡@¡@§f«TÅﻡ¡A¥ú¾Ç²£·~¤é·s¤ë²§¡B¥B¥«³õÄvª§¤é¿K¡A¾ã¦X«¬¥ú¾Ç½¤¦¨¥»§C«Ü¦h¡A¥Ø«e±ªO¼t¤w¯É¯É±Ä¥Î¡A¹w¦ô¥¼¨Óªº²G´¹¹qµø¡A³£±N±Ä¥Î¾ã«¬¥ú¾Ç½¤¬°¾É¦V¡AR2RÂù±¦¨§Î§Þ³N¥iéw³sÄò¦¡¥Í²£¡A¼W¥[²£«~¥i¨Ï¥Îªº¦³®Ä°Ï°ì»P¦¨§Îéw©Ê¡A¤Îºë½Tªº±±¨îÂù±¦¨§Î¦ì¸m¡A´x´¤¤j±¿n¶WÁ¡¥ú¾Ç½¤ªº³sÄò¦¡¥Í²£§Þ³N¡A°£¯à°§C±ÄÁʦ¨¥»¥~¡A¨Ã¤j´T´£¤É¨ä¶q²£²v¤Îª½³q²v¡A¥i¨Ï¬ÛÃö²£·~¦³®Ä´£¤É¾ãÅé¨}²v¡C
¡@¡@¦ö¶¶µo¾÷±ñ°ªºë«×UV¥ú¾Ç½¤Âù±¦¨«¬³]³Æ¡A«O¯d¥H©¹³æ±¦¨«¬¾÷ºë«×°ªÀuÂI¥~¡A¸Ó³]³Æ¥iÂù±¶î§G¤£¦Pµ²ºc¦Ü°ò§÷ªíùبⱡAÅý¦¨§Î«áªº½¤¤ù¨ã¦³¨âºØ¥ú¾Ç®ÄªG¡A³z¥ú©Ê¤ÎÂà¼g²v¥i°ª¹F90%¥H¤W¡A¨ä»s«~°£¹B¥Î¦bFPD²£·~¡A¶i¦ÓÀ³¥Î·Lµ²ºc¥ú¾Ç½¤²£·~¥~¡A¥iÂX¤jÀ³¥Î©ó·Ó©ú¡B¤Ó¶§¯à¡BÅã¥Ü¾¹¡B¥]¸Ë«Ø§÷²£·~µ¥¡C<Â^¿ý¸gÀÙ>