¡@©ú»·ºë±K¡]7704¡^¤µ¦~«e¤T©uµ|«á¯Â¯q0.76»õ¤¸¡A¦~´î13.6¢H¡A«e ¤T©u¨CªÑµ|«á¯Â¯q2.5¤¸¡C¸Ó¤½¥qªí¥Ü¡A¦b½Õ¾ãÀç¹Bµ²ºc¤§«á¡A¤½¥q ¥Ø¼Ð¤ò§Q²v±N«¦^40¢H¡A¦P®É¡A¸Ó¤½¥q¦b¦Û¦³«~µP²£«~¤µ¦~Àç¹B¥i±æ ¹F¨ì33¢H¡A©ú¦~¥i±æ«ùÄò´£¤É¡A¥«³õªk¤H¬Ý¦n¸Ó¤½¥q©ú¦~Àç¹B¥i±æ« ¦^¦¨ªø¡C
¡@¡@©ú»·ºë±K18¤éÁ|¿ì¤WÂd«e·~ÁZµoªí·|¡A¸Ó¤½¥q²£«~¥Dn¬°¥b¾ÉÅé¯ä ®ñ¨Ñ®ð¨t²Î¡B»·ºÝ¹q¼ß·½¡B®gÀW¹q·½¨t²Î¤Î§Þ³NºûתA°È¡A¥DnÀ³¥Î ©ó¥b¾ÉÅé»sµ{¤¤ªº¤Æ¾Ç®ð¬Û¨I¿n¡]CVD¡^©Mì¤l¼h¨I¿n¡]ALD¡^µ¥ÃöÁä »sµ{¡C
¡@¡@©ú»·ºë±K«e¤T©uÀ禬5.74»õ¤¸¡A¥e¤ñ¤À§O¬°§Þ³NªA°È49¢H¡B¦Û¦³«~ µP30¢H¡B¥b¾ÉÅ鳯«~¶R½æ21¢H¡C¸Ó¤½¥q¥b¾ÉÅé¯ä®ñ¨Ñ®ð¨t²ÎOzone G enerator§Þ³N§ó¤w¦b¥þ²y¥Dnªº¥b¾ÉÅé³]³Æ»s³y°Ó¤¤¼sªxÀ³¥Î¡AÀHµÛ ¥b¾ÉÅé²£·~»P¥ý¶i»sµ{ªº»Ý¨D«ùÄò¤W´¡A©ú»·ºë±K«áÄòÀç¹B°Ê¯à¬Û·í ¼ÖÆ[¡C
¡@¡@©ú»·ºë±K¥D¤O²£«~¤§¤@ACME¡]®gÀW¹q·½¨t²Î¡^¬O°ª«×¸`¯à¥b¾ÉÅé³] ³Æ¡A¯à°÷¦³®Äªº¨ó§U«È¤á¤j´T´îºÒ¡A¸`¯à®ÄªG³Ì°ª§ó¹F¨ì68.7¢H¡A²` ¨ü´¹¶ê¥N¤u¤j¼tµ¥«È¤á«C·ý¡A¦¨¬°»sµ{¼Ð·Ç¾÷¥x°t¸m¡FºI¦Ü¤µ¦~6¤ë ©³¤w¥X³f¨â¦Ê¾l®M¡A¨C¦~¨ó§U«È¤á´î¤Ö23®y¤j¦w´ËªL¤½¶éªººÒ±Æ©ñ¶q ¡C
¡@¡@©ú»·ºë±K¦b¥b¾ÉÅé»sµ{¤¤§êºtµÛÃöÁ䨤¦â¡C°ª®Ä¸`¯à®gÀW¹q·½¨t²Î ¥Î©óCVD»sµ{¡A½T«O®ðÅé¤À¤l¦b¨I¿n¹Lµ{¤¤§¡¤Ãµõ¸Ñ©M¤ÏÀ³¡A§Î¦¨°ª ½è¶qÁ¡½¤¡C
¡@¡@ÀHµÛ¥b¾ÉÅé»sµ{«ùÄò¦V§ó¥ý¶i¸`ÂIµo®i¡ACVD©MALD»sµ{¦b´¹¤ù»s³y ¤¤ªº«n©Ê»P¤éѼW¡A©ú»·ºë±K²£«~¯à°÷º¡¨¬¥ý¶i»sµ{¹ïÁ¡½¤«~½è¡B §¡¤Ã©Ê©Mºë½T±±¨îªºÄY®æn¨D¡A¬°«È¤á´£¨Ñ°ª®Ä¡Béw¥BÀô«Oªº¸Ñ¨M ¤è®×¡C
<ºK¿ý¤u°Ó>