¥x¨t·L¾÷¹q(MEMS)¨t²Î³]p·~ªÌ¥ý¶i·L¨t²Î¬ì§Þ¯Ñ¯Ð·L±½´y®¶Ãè(MEMS Micro Scanning Mirror¡FMSM)²£«~¦³¦¨¡A2011¦~¤W¥b¥i±æ·f¸ü¥ú¾÷²£«~¤@°_¥X³f¡C¹ï¦¹¡A¥ý¶i·L¨t²ÎÁ`¸g²z¬x©÷¾¤ªí¥Ü¡A¥Ø«e¤½¥qªºMEMS±½´y¤¸¥ó¤w¶}©l¶q²£¡A¥Ø«e±Ä·f°t¥ú¾÷¤è¦¡¥X°â¡A¥Dn¤´¥H¥~±µ¦¡²£«~¬°¥D¡A¦ý¤]¤Q¤À´Á«Ý¤â¾÷¼Ò²Õªº¾É¤J¡A¬Ý¦n·L«¬§ë¼v¥«³õ¥¼¨Óªºµo®i¡C
¥ý¶i·L¨t²Î¥Ø«e¬O±À¥X¤Gºû±½´y®¶Ãè(2D MSM)²£«~¡C¬x©÷¾¤ªí¥Ü¡A¦³§O©ó¤@ºû±½´y®¶Ãè(1D MSM)»Ý·f¸ü¨âÁû¤¸¥ó¨Ó¬Ý¡A2D MSM²£«~¦b²Õ¸Ë¤W¸û®e©ö¡A¥B¥ú¤£»Ý¸g¹L¨â¦¸§é®g¡A¥i«O«ù°ª¥ú¾Ç®Ä²v¡A¥B°§C¼v¹³¥¢¯uªº±¡ªp¡C¥t¥~¡A¤]¥i´î¤Ö«Ê¸Ë¦¸¼Æ¡A¦b¦¨¥»¤W¨ã¦³¤@¤jÀu¶Õ¡C¥B¬x©÷¾¤¯S§O´£¤Î¡A¤½¥qªº2D MSM²£«~±Ä¼Ð·ÇCMOS«Ê¸Ë¡A¦³§O©ó¦P·~»Ý¨Ï¥Î¯S©w«Ê¸Ë§Þ³N¡A§ó¨ãÄvª§¤O¡C
¬x©÷¾¤«ü¥X¡A¤½¥qªº2D MSM²£«~¤w¶i¤J¶q²£¶¥¬q¡A¥Ø«e¬O¦b¥x¨t´¹¶ê¼t§ë¤ù¡A±Ä8¦T»sµ{¡C¤£¹L¡A¥¿¦¡¥X³f«hnµ¥¨ì2011¦~²Ä2©u¥½´Á¡A¥Dn«Y¦]»Ýµ¥¹p®g¥ú·½²£«~¥i¦P¨B¨Ñ³f¡C¬x©÷¾¤ªí¥Ü¡A¤½¥q¥¿»P°ê¥~«È¤á±µ¬¢¤¤¡Aªì¨BÁÙ¬O¥H¥~±µ¦¡·L«¬§ë¼v²£«~¬°¥D¡A¦A³v¨B¾É¤J¤â¾÷¥H¤Î¬Û¾÷µ¥®ø¶O©Ê²£«~¤¤¡C
Æ[¹î¾ãÅé·L«¬§ë¼v¥«ªp¡A¬x©÷¾¤»{¬°¡AY·L«¬§ë¼v¼Ò²Õn¶i¤J®ø¶O©Ê²£«~¨ÑÀ³Ã줤¡A»ù®æÁÙ¬O³Ì¥Dnªº¦]¯À¡C¤£¹L¡A¥Ø«e¥H¬õºñÂÅ(RGB)¹p®g·f°t·L¾÷¹q±½´y±Ã誺§Þ³N©Ò»s¦¨ªº¥ú¾÷»ù®æ¤´°ª¡A¹w´Á¦b¹p®g²£«~»ù®æ¤U·Æ«á¡A¤~¦³Ävª§¾÷·|¡C¾Ú¤F¸Ñ¡A¦b·L«¬§ë¼vªº¥ú¾÷¼Ò²Õ¤¤¡A¹p®g³¡¤À¬ù¦û¦¨¥»¹F60%¤§¦h¡A¦Ü©óMSM«h¬°10~15%¡A¼vÅT¸û¤p¡C
¥Ø«e¡A¥«³õ¤W¦h»{¬°¡A·í¥ú¾÷¼Ò²Õ»ù®æ¤U±þ¦Ü30¬ü¤¸®É¡A«h·|¶}©l¦b¤â¾÷¤¤¹ñÅSÀY¨¤¡CÁöµM¥Ø«e¦b¤j³°¤â¾÷¥«³õ¤¤¡A¤w¥X²{±ÄLCOS§Þ³Nªº¼Ò²Õ¡A¨ä»ù®æ¨Ó¨ì 25¬ü¤¸¡C¤£¹L¡A·~¬É¤H¤h«ü¥X¡A¨ä«G«×¶È¹F5¬y©ú¡A¨Ï¥Î®ÄªG¤£¹ü¡A¤]¤£²Å¦X¤@¯ë«~µP·~ªÌ©Òn¨Dªº10~15¬y©ú¡A¬G¥«³õ¦U¤è¦h¹w´Á¤â¾÷·f¸ü·L«¬§ë¼v¼Ò²Õ±N¦b2012¦~¬Ý¨ì¡C
<ºK¿ý¹q¤l>