受惠於台積電MEMS製程中深蝕刻技術，台灣晶兆科技目前已可
量產全球最小的光譜分析儀。晶兆科技表示，目前已可開始交貨
，售價與傳統光譜分析儀相較，可能最少差上5倍左右。晶兆科技
採用台積電深蝕刻的製程技術，主要是用來製造光柵部分，而這
部分已提出申請專利。市場分析師認為，這因為台積電過去在
CMOS影像感測器製程中的深蝕刻技術已累積相當不錯基礎，晶
兆科技才有機會發展出這樣小型化光譜分析儀。
晶兆科技表示，目前為止晶兆是全球唯一微型光譜晶片商。雖然
眾人皆知光譜分析儀在量測上用途相當廣泛，但過去1台光譜分析
儀動輒要價新台幣80萬~2000萬元不等，除售價昂貴外，體積龐
大、調校不易，也導致光譜分析儀一直無法普及，僅經費相當充
足的高級實驗室才會採購。
不過晶兆科技目前運用自身光學演算法，加上採用半導體中的微
機電製程，已於日前成功量產微型凹面光柵，大幅縮小傳統光譜
儀體積，且所製造光譜分析儀售價僅需15萬元以內，功能具備可
直立運作的操作彈性，又兼顧高解析度、高訊噪比、高動態範圍
、短訊號擷取時間。
晶兆科技進一步表示，之所以可製造出這樣小型化光譜分析儀，
背後最大推手為台積電所提供相當扎實的深蝕刻技術，使得晶兆
科技得以做出相當微小的光柵，市場人士認為就當前台積電1片8
吋晶圓片來看，大約可切割出約700多顆的光柵晶片。
分析師表示，台積電之所以可以提供如此完善的深蝕刻技術，與
過去台積電在CMOS影像感測器製程製造上，已累積相當扎實基
礎有關，因此在替晶兆科技代工時良率自然相當不錯。
目前光譜分析儀的量測可廣泛應用於光電檢測、生醫檢測、環境
檢測、空氣檢測、水質檢測、居家照護、農藥檢測、甜度檢測、
假酒檢測、印刷、染整、電鍍、紡織、寶石鑑定及刑事鑑定等不
同領域。
<摘錄電子2版>
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