經濟部為推動國內產業科技的創新研發，日前假高雄軟體科
技園區國際會議廳舉辦「98年科專成果表揚暨成果展示活動」，
其中由上銀子公司大銀微系統所獨立開發的「平面顯示器檢測定
位平台」與「次微米平面顯示器檢測定位平台」，獲得「大尺寸
液晶面板關鍵設備技術整合計畫」的最高評價，由經濟部次長黃
重球親自到場頒獎表揚。

　大銀公司表示，該公司開發出「平面顯示器檢測定位平台」
與「次微米平面顯示器檢測定位平台」等產品，有效降低國內
FPD產業對進口設備的依賴性，落實LCD製程設備與技術的自主性
，對帶動台灣產業發展，提高國家產業競爭力，有很大的幫助。

　大銀微系統的「平面顯示器檢測定位平台」為G5至G10面板
電子束檢測設備，龍門同動驅動平台，可應用於無塵等級Class
100的面板、半導體精密量測儀器、檢測設備上，目前已接獲美
國知名面板設備廠的肯定與採用，開始出貨。

　另外，「次微米平面顯示器檢測定位平台」為G7至G8面板超
精密量測設備，採用非接觸式線性馬達直接驅動，可應用於無塵
等級Class 100的面板、半導體精密量測儀器、檢測設備與面板、
半導體曝光設備。該產品相關技術也獲得德國知名光罩檢測設備
大廠下單訂購，同時也替大銀公司在第17屆台灣精品獎中，一舉
拿下銀質獎。


<摘錄工商>