由大銀微系統所開發「平面顯示器檢測定位平台」與「次微米平
面顯示器檢測定位平台」，能有效降低國內FPD產業對進口設備
的依賴性，落實LCD製程設備與技術的自主性。

大銀微系統的「平面顯示器檢測定位平台」為G5~G10面板電子束
檢測設備，龍門同動驅動平台，真空用線性馬達﹝磁浮馬達﹞驅
動，最大推力可達1056N，而平台移動速度最大為2.8m/sec，可應
用於無塵等級Class 100的面板、半導體精密量測儀器及檢測設備
上。目前為美國知名面板設備廠肯定與採用，已陸續出貨給日南
韓際知名面板大廠。

而「次微米平面顯示器檢測定位平台」為G7~G8面板超精密量測
設備，採用非接觸式線性馬達直接驅動，也就是採用自行開發之
空氣軸承來消除定位運動過程中的摩擦力干擾以及提升運動過程
中之穩定性，配用非接觸雷射光學式位置回饋，並搭配主動式平
台避震，達到奈米級超精密的定位需求。可應用於無塵等級
Class 100的面板、半導體精密量測儀器、檢測設備與面板、半導
體曝光設備。

做為台灣唯一線性馬達專業製造廠，大銀微系統創立於1997年，
致力於精密線性傳動與定位控制之相關元件、系統件乃至於設備
之研發與製造，完整的產品系列包括各式步進、伺服線性馬達、
直驅式定位平台，醫療級、一般工業用與消費性產品之線性致動
器，磁性尺量測系統及高速、高精度之定位平台等，產業應用層
面擴及光電產業、半導體工業、生技醫療、精密自動化等領域。
大銀微系統具備跨部門的創新研發能力與自動化製程能力，掌握
關鍵機構元件的自製，在SEMICON展世貿一館攤位B694做展示。

<摘錄電子>