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穩懋半導體砷化鎵晶圓廠啟用 2001年全產能 1萬片 6吋晶圓
2000/12/12

穩懋半導體去年12月動土興建,今日舉行晶圓廠落
成啟用,者是領先同業跨入 6吋晶圓廠製造服務,預計
明年 3月便開始進入量產,2001年全產能將達 1萬片以
上的6吋晶圓。

穩懋半導體是全球首座 6吋晶圓專業生產砷化鎵的
晶圓廠,其無塵室區域超過 2萬平方英尺,滿載產能每
年約可量產10萬片 6吋晶圓,該公司自動化設備程度可
超過 80%,遠超過其他業者的 30%。

今日在開幕會場中展出一片 6吋2微米InGaPHBT
MMIC晶圓及6吋0.5微米pHEMT,另外也展示大尺寸 GaAs
晶圓製造上的晶圓晶背全套製程技術,一片 6吋晶圓厚
度僅有 100微米,領先台灣其他同業推出此製程技術。

穩懋半導體總經理吳展興表示,目前生產線日漸成
熟,也陸續接受客戶技術及品質驗證,計劃明年 3月開
始量產,2001年全年產能將可達到1萬片6吋晶圓,並在
2002年年底前快速提昇產能,屆時將可達到3萬片6吋晶
圓產出,2004年年底前完成10萬片 6吋晶圓目標。


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