鉅亨網記者王志煌／新竹科學園區． 3月 7日 03/07 13:06

配合台灣各大半導體廠投入12吋晶圓廠的興建及量
產，台灣最大的再生晶圓廠昇陽國際半導體目前也積極
規劃12吋再生晶圓的生產，公司預計將於今年 6月份開
始試產，以公司現有廠房的空間，單月產能可達7000-1
萬片，足以因應未來 2-3年客戶的需求。

雖然中國砂輪轉投資的再生晶圓廠金敏精研率先台
灣同業宣佈投入12吋再生晶圓的生產，但客戶群較廣的
昇陽半導體在客戶的要求下，也積極規劃12吋再生晶圓
的生產進度，並有客戶拿晶片到該公司試做。

昇陽半導體發言人吳柏志表示，在客戶的要求下，
昇陽原本希望在今年 4月做出第一片12吋再生晶圓，但
受到全球12吋晶圓機台設備延緩交貨的影響，預計包括
量測、拋光、清洗等機台設備完全到位後， 6月初才能
真正生產。

吳柏志表示，12吋再生晶圓因尺寸大，在拋光的過
程中要達到均勻、平坦的技術難度相當高，加上成本高
，生產良率也是最重要的考量因素之一。不過公司仍希
望在第 2季結束前做出12吋再生晶圓的樣品。

在產能規劃方面，吳柏志指出，公司將以竹科現有
的廠房空間，在不影響 8吋再生晶圓單月產能14萬片的
情況下，規劃每月7000-1萬片的12吋再生晶圓產能，預
計將足以因應未來 2-3年的需求，等到12吋晶圓真正大
量時再規劃建廠。