鉅亨網記者王志煌／新竹科學園區． 8月15日 08/15 09:20

台灣最大的再生晶圓廠昇陽半導體預計下週生產12
吋再生晶圓的設備完全到位，公司預計 9月份就可開始
量產，目前則和台積電(2330)配合開發12吋再生晶圓。

昇陽半導體已引進12吋再生晶圓前段設備，並開始
配合台積電進行部份製程的生產，後段的清除設備則預
計下週進廠，由於昇陽已有同一廠牌的 6吋、 8吋相關
設備，公司表示，最快 2-3週就可完成裝機， 9月份就
可開始量產。

昇陽表示，目前僅台積電12吋晶圓的腳步較快，因
此公司主要和台積電配合，已完成蓋廠的茂德(5387)、
力晶(5346)也即將進入12吋晶圓試產，昇陽也積極和這
2 家DRAM廠洽談合作，而聯電(2303)則希望昇陽完成設
備裝機後再進一步合作。

昇陽預計今年的12吋再生晶圓市場量仍不大，真正
大量應在2002年，因此公司僅希望年底前單月產能維持
在 2000-3000片。