DRAM大廠美光科技桃園廠區傳出工安意外。旗下代號N2的12吋晶圓廠上周末因供應氮氣的氮化純化廠遭汙染，導致逾百台機台全數遭到汙染，到昨（5）日止仍處於停工狀態。美光正全力搶救，但估計數萬片晶圓將報廢，嚴重衝擊DRAM全球供給。
雖然美光昨天緊急澄清，坦承廠務系統確實出現些微錯誤，公司已迅速解決並恢復正常運作，對產出沒有影響。不過，根據協助的設備商透露，美光的N2廠遭到汙染事件，比想像還嚴重，到昨天還是全數停工。
據了解，美光桃園廠N2廠這次的事件，主因是供應製程所需的氮化純化廠未做到純化氮氣，導致水氣滲入，再輸送到製程的生產機台，估逾百台核心生產DRAM生產機台遭到汙染，重創美光桃園廠生產線。
截至目前，台灣美光不願對外公布受損晶圓及何時可重新復工。不過，設備廠推測，美光可能重新檢修桃園廠的氮氣純化廠，相關生產機台也必須檢修，恐非短期可復工。
業界估算，美光這次因氮化純化廠出包，進而讓N2廠區受汙染事件，除了在產線上數萬片DRAM晶圓得報廢外，這座晶圓廠月產能達6萬片，在復工期拉長的情況下，對DRAM產業供應，將有一定程度的影響。
美光桃園廠為收購前華亞科技位於華亞科技園區的廠房，採雙子星結構，一廠可容納兩座12吋廠，兩廠月產能可達12萬片，也是美光採用最先進20奈米的生產重鎮，如今一座廠被迫停工，對DRAM市場影響不小。
華亞科原為台塑集團旗下南亞科技與美光合資興建的12吋晶圓廠，美光後來斥資新台幣1,300億元，收購華亞科全數在外股權，於2016年12月順利完成收購。
<摘錄經濟>
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