聯電秘密建置MEMS產線　明年上半投產今年第4季完成第1條產
線　產能約為1,000片

MEMS商機實在誘人，近來台積電及部分IDM大廠相繼跨入MEMS
市場，然而亞太優勢一直被外界視為聯電MEMS的代表，不過事
實上亞太優勢恐怕只是聯電的「煙霧彈」。據了解，聯電私下已
積極搶進MEMS代工市場，準備搬進MEMS機器設備，估計到2008
年第4季有機會完成第1條產線，一旦完工後，聯電MEMS軍團可
說是完全正式成立。

由於聯電所屬的欣興電子轉投資亞太優勢，且佔有亞太優勢相當
程度股權，長久以來外界一直認為亞太優勢就是聯電跨入MEMS
市場的代表，且認定聯電在部署MEMS市場僅有亞太優勢，沒想
到聯電本身會悄悄投入MEMS產能布建。

據了解，聯電內部不僅要做MEMS整體製造的前段部分，也就是
所謂的CMOS製程，同時也還要投入後段MEMS製造，是屬於1條
完整的MEMS製造產能，第1階段機器設備預計在2008年10月開始
正式搬入，依照裝機時點推估，到2008年底將有機會完成第1條
MEMS產線建置工作，真正投入量產時間點大約落在2009年的上
半。

據了解，聯電第1條MEMS生產線產能滿載量約為1,000片，而將在
其8吋廠內部進行投產，將採用0.3微米製程技術切入MEMS代工，
到最後也有機會改採0.13微米製程技術，不過市場人士表示依照
台積電過去建造MEMS生產線經驗來看，聯電如果真正想要擁有1
條屬於自己可運作MEMS生產線，可能將落在2009年下半年才較
有機會正式進入量產。

除此之外，聯電現已加緊腳步與海內外的MEMS產品設計公司進
行接洽，希望這些MEMS設計公司能夠選擇聯電MEMS產能投片，
不過較令人擔憂的是，聯電的客戶大多為MEMS設計公司，因此
想在聯電正式投片前，還是必須與聯電共同合作試產一陣子，才
有機會正式進入量產，這與台積電當前狀態較為不同，由於台積
電接恰的客戶大多屬於IDM廠商，IDM大廠大多會將整套的「配方
」轉給台積電，這將有助於台積電MEMS生產良率上較高。
<摘錄電子>